水平型离子溅射镀膜机 IBSH-900

详细介绍

型号：IBSH-900

特点：

1、基板水平放置，垂直监控；

2、靶材左右移动，位置和速度可编程控制；

3、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4、靶材：两靶，三靶或四靶可更换；

5、多光路监控。

6、无膜厚分布修正板

工艺参数：

1、真空系统

a) 极限真空度：4.0×10-5Pa

b) 抽至10Pa所用时间：≦ 10 分钟

c) 漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec

2、控制精度

a) 靶材旋转：0.005°

b) 工件旋转: <1000RPM

c) 编码器: 12000lines;480000Counts/rev

d) 膜厚修正板：0.005°

e) 挡板: position switch

3、光学监控系统OMS

a) 波长范围：380nm～1650nm

b) 光源稳定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02%

c) 波长分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nm

d) 波长准确度: 白光0.2nm ，激光0.1nm

无极荣耀拥有世界领先的真空镀膜技术，已申请多项专利。生产多种高质量无极4镀膜设备，同时承揽无极4镀膜设备的维修和改造以及镀膜工艺咨询服务等业务。

公司生产的各型镀膜机，是针对特定市场和客户群体开发的新产品，与目前市场上普遍采用的无极4镀膜设备相比具备以下突出优势：单体同步精密监控，实时膜厚分布控制。因此适合做各类高难度镀膜产品。单片薄膜产品的面积越大，优势越明显。而电子束镀膜机还增加了双面镀膜功能，适合半导体激光器的端面镀膜。

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所属分类：离子溅射镀膜机

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