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拉菲6注册对于单片膜色不均匀产生的原因

发布日期:2020-10-12 00:00 来源:http://www.szhitek.com 点击:

拉菲6注册对于单片膜色不均匀产生的原因

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光学镀膜机主要是由于基片凹凸严重,与伞片曲率差异较大,基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大,形成的膜厚差异大。


另外镜片被镜圈(碟片)边缘部遮挡、镜圈(碟片)脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。


改善思路:改善镜片边缘的蒸发角。


改善对策:

㈠ 条件许可,用行星夹具;

㈡ 选用伞片平坦(R大)的机台;

㈢ 根据伞片孔位分布,基片形状,制作专门的锯齿形修正板。

㈣ 如果有可能,把蒸发源往真空室中间移动,也可改善单片的膜色均匀性。

㈤ 改善镜圈(碟片),防止遮挡。

㈥ 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡

㈦ 清洁镜圈(碟片)

㈧ 改善膜料蒸发状况。


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